芯片製造關鍵設備再突破 離子注入機實現全譜系產品國產化

中國電子科技集團有限公司17日對外公布，該集團旗下裝備子集團攻克系列“卡脖子”技術，已成功實現離子注入機全譜系產品國產化，包括中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，工藝段覆蓋至28nm，為我國芯片製造產業鏈補上重要一環，為全球芯片製造企業提供離子注入機一站式解決方案。