8月2日，據中國國際招標網顯示，萬業企業（600641.SH）旗下嘉芯闳揚公司和嘉芯迦能公司成功中標上海積塔半導體有限公司特色工藝生産線建設項目10台刻蝕設備。其中嘉芯闳揚公司中標1台金屬等離子刻蝕機、4台氮化矽等離子刻蝕機；嘉芯迦能公司中標2台金屬等離子刻蝕機和3台側牆等離子刻蝕機。
近期萬業企業旗下快速熱處理設備（RTP）、薄膜沈積設備、刻蝕設備已相繼成功跻身上海積塔特色工藝産線。
來源：發布易
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