近日，沈陽芯源微電子設備股份有限公司申請一項名為「一種解決12寸BARC類工藝薄膠邊緣風紋的塗膠方法」的專利。專利摘要顯示，本發明涉及一種解決12寸BARC類工藝薄膠邊緣風紋的塗膠方法，其對晶圓預濕處理溶劑進行調整，選擇OK73對晶圓進行預濕處理，並通過控制晶圓甩幹轉速V2和甩幹時間T2以控制晶圓表面殘留的OK73溶液量，殘留的溶液越多，膜厚相對越薄，這樣相同膜厚下主轉速更低，這樣本發明方法塗膠轉速能夠控制在2000rpm以下，不會導致邊緣風流過強出現風紋，從而可以有效解決12寸BARC類工藝薄膠邊緣風紋問題，同時也可以滿足薄膠塗覆要求，另外本發明方法無需對現有設備進行改造，僅通過調整塗膠工藝配方和步驟即可解決工藝異常，並且工藝步驟簡單便於實施。長期來看，該塗膠工藝專利落地或將進一步完善國産半導體塗膠設備配套工藝體係，助力光刻設備産業鏈本土化發展。
南方基金鄭曉曦關注半導體産業鏈投資機遇。她管理的南方信息創新混合持倉聚焦科技自立自強，其2026年度一季報顯示，其前十大重倉股中包括拓荊科技、北方華創、中微公司等擁有領先技術的國産半導體産業鏈龍頭企業。另一只産品南方半導體産業股票則深耕半導體芯片産業，尤其是光刻機模塊，其2026年度一季報顯示，其前十大重倉股中包括奧普光電、茂萊光學等國産核心企業。
南方信息創新混合（A 類：007490/C 類：007491）
南方半導體産業股票發起（A 類：020553/C 類：020554）
内容來源：有連雲
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