漲超2.9%，半導體設備ETF華夏(562590)近3月漲幅22%

截至2026年3月5日 11:03，中證半導體材料設備主題指數(931743)強勢上漲3.22%，成分股聯動科技上漲7.14%，中晶科技上漲6.30%，金海通上漲5.41%，中巨芯，矽電股份等個股跟漲。半導體設備ETF華夏(562590)上漲2.97%，最新價報1.91元。拉長時間看，截至2026年3月4日，半導體設備ETF華夏近3月累計上漲21.91%

流動性方面，半導體設備ETF華夏盤中換手3.22%，成交8627.58萬元。拉長時間看，截至3月4日，半導體設備ETF華夏近1周日均成交1.97億元。

跟蹤精度方面，截至2026年3月4日，半導體設備ETF華夏今年以來跟蹤誤差為0.012%，在可比基金中跟蹤精度最高。

相關ETF：科創半導體ETF（588170）及其聯接基金（A類：024417；C類：024418）：跟蹤指數是科創板唯一的半導體設備主題指數，其中先進封裝含量在全市場中最高（約50%），聚焦於科技創新前沿的硬核設備公司。

半導體設備ETF華夏（562590）及其聯接基金（A類：020356；C類：020357），跟蹤中證半導體材料設備主題指數，其中半導體設備的含量在全市場指數中最高（約63%），直接受益於全球芯片漲價潮對「賣鏟人」（設備商）的確定性需求。

内容來源：有連雲