萬業企業：旗下嘉芯半導體尾氣處理設備中標特色工藝生産線建設項目

據必聯網5月23日發布的中標結果公告，萬業企業（600641）旗下嘉芯迦能的雙燃燒+雙水洗尾氣處理設備中標特色工藝生産線建設項目，中標數量為23台。

據悉，自2022年下半年開始，萬業企業子公司嘉芯半導體多次中標多款設備，包含氮化矽等離子刻蝕機、金屬等離子刻蝕機、側牆等離子刻蝕機、高密度等離子薄膜沈積設備（HDP-CVD）、二氧化矽等離子薄膜沈積設備（PECVD）、摻雜硼磷二氧化矽薄膜化學沈積設備（SACVD）、钛/氮化钛沈積設備（MOCVD）、鋁銅金屬濺射設備（PVD）以及快速熱處理（RTP）等。

萬業企業持續支持國産設備的成長與研發，以自主研發與外延式並購雙輪驅動戰略布局半導體設備材料賽道。目前公司旗下的凱世通和嘉芯半導體已疊加形成多個半導體前道核心設備産品線，業務覆蓋離子注入機、刻蝕機、薄膜沈積、快速熱處理等多類設備。公司聚焦「1+N」半導體設備平台公司多品類賽道，致力于推動中國集成電路産業的蝶變躍升。

來源：中國財富通