萬業企業：集成電路離子注入機成功通過客戶驗證，上半年設備再獲新訂單

8月27日晚間，萬業企業（600641）披露2021年半年報。報告期内，公司實現營業收入6.09億元，同比增長28.25%，其中集成電路設備收入同比增長223%，研發費用同比增長575.23%；實現歸屬于上市公司股東的淨利潤2.79億元，同比增長55.18%；扣非歸母淨利潤1.97億元，同比增長23.30%。

資料顯示，萬業企業自2015年開始布局轉型，目前公司聚焦半導體裝備與材料産業布局成效顯著。萬業企業集成電路核心裝備業務涵蓋兩方面，一是旗下控股子公司凱世通的集成電路核心設備離子注入機，産品覆蓋集成電路、光伏市場、AMOLED等領域；二是牽頭收購的半導體設備領域精密零部件供應商Compart Systems，主要産品包括BTP組件、裝配件、密封件、氣棒總成、氣體流量控制器（MFC）、焊接件等。

積極發力集成電路業務 離子注入機獲得多個訂單

近年來，政策不斷推動國内集成電路設備商發展。由于離子注入機是半導體産業中位于芯片制造前段工序的關鍵設備，價值量較高，且長期被美日廠商壟斷，我國在政策上對其重視程度較高，在多項政策中將其列為重點發展的關鍵設備。2021年6月上海市人民政府辦公廳印發《上海市戰略性新興産業和先導産業發展「十四五」規劃》通知，明確提出要把集成電路列為重點發展領域，加強創新發展集成電路裝備材料領域，突破離子注入設備等前道核心工藝設備，因此當前國産替代趨勢下政策將持續利好萬業企業此類國内細分集成電路行業龍頭。

報告期内，萬業企業旗下凱世通在離子注入機設備驗證、産品交付、銷售收入以及新訂單簽署等工作均取得顯著進展。凱世通自主研發的低能大束流離子注入機率先在國内一家12英寸主流集成電路芯片制造廠已完成設備驗證工作並確認銷售收入，這也是首台完成國内主流客戶驗證並確認收入的國産低能大束流設備，標誌國産化設備在成熟工藝這一重大技術領域取得商用化突破。同時，凱世通重金屬離子注入機和超低溫大束流離子注入機已完成客戶交付，高能離子注入機設備按客戶交付計劃進行組裝。

凱世通低能大束流離子注入機

此外，中報期内公司又新增2台訂單，與國内另一家12英寸芯片制造廠分別簽署1台低能大束流超低溫離子注入機和1台高能離子注入機訂單。根據中信建投研報顯示，市場需求方面國内晶圓廠以及存儲廠未來2-3年處于持續擴産期，為國産設備廠商提供豐厚成長土壤。國内主要芯片制造企業正積極尋求擴産，新增産能合計約52萬片，主要集中在成熟制程，預計新增晶圓産能需采購離子注入機520-780台。另一方面，先進制程對資金、技術、研發的要求迅速提升，目前國際先進集成電路廠商大力發展FinFET和3D NAND等集成電路技術，將給離子注入機帶來新的需求。整體而言，離子注入機市場需求呈現穩中有升的趨勢，萬業企業旗下核心設備業務擁有巨大增量空間。

平台化協同 業績增長強勁開啓

2020年12月，公司牽頭境内外投資人完成對全球領先的集成電路設備精密零組件及流量控制解決方案供應商Compart Systems收購，間接成為其第一大股東。作為全球稀有的可完成半導體零組件精密加工所有環節的公司，Compart Systems客戶主要為知名的半導體設備商和領先的工業企業集團等。

「一代器件，一代工藝及一代設備」，設備是集成電路産業發展的關鍵環節，而設備的核心零部件是更加薄弱的領域。據VLSI資料顯示，半導體設備制造中最關鍵的零部件大致分為5個類別，包括真空泵，RF電源，矽片傳送，氣體與液體控制(Mass flower，質量流量計等)及其它。一台集成電路設備中需要3000-4000余個零部件，除了個別自行設計的零部件，其余90%均采用外協定制加工，目前零部件領域國産化率僅為10%-30%,尤其是Compart Systems所覆蓋的氣體控制系統國産化率為零，因此萬業企業收購Compart Systems可有效解決設備零部件長期依賴海外供應鏈的困境。

Compart Systems精密零部件生産線

2021年上半年，Compart Systems的相關産品打入國内集成電路設備公司，同時簽約浙江海寧新建Compart制造中心，該項目總投資30億元，是海寧市2021年重點引進的半導體領域産業項目。因此公司在現有訂單、新客戶拓展以及未來國内産能規劃均取得良好進展。根據SEMI數據披露，2020年全球半導體設備銷售額712億美元，同比增長19%，受益于全球半導體設備業績提升，作為集成電路設備制造商的上遊供應商，Compart Systems預計在2021年下半年將繼續保持強勁的業績增長趨勢。

内部激勵初顯身手 人才結構逐步完善

為深化落實轉型並深度激勵核心技術人員，今年萬業企業正式推出首期員工持股計劃，參加認購的員工均為對公司集成電路業務未來發展有直接貢獻作用或有重要協同作用的中高層管理人員及核心骨幹員工。公司通過員工持股計劃"錨定人才"，可充分調動員工積極性和創造性，增強員工凝聚力和提升公司集成電路業務的技術與市場能力，從而緊握國産化替代浪潮下的市場機遇，這對公司立足高端制造行業，提升市場競爭力和可持續發展起著關鍵作用。

近年來，萬業企業已成長為集成電路裝備領域的平台型公司，擁有國際和國内兩種産業資源，無論是在集成電路設備商業化突破，或是外延式並購均有良好布局，為公司集成電路業務多元化發展奠定了堅實的基礎。後續萬業企業將堅持高水平的研發創新，深化布局産業鏈發展，持續提升設備交付的能力，拓展産業平台化布局，造就多贏且可持續發展的行業生態格局，成為綜合性的集成電路裝備與材料集團。

來源：發布易