―全新等级的智慧分析场发射扫描电子显微镜(FE-SEM),兼具高解析度和强大的可操作性―
东京--(美国商业资讯)--日本电子株式会社(JEOL Ltd.) (TOKYO:6951) (www.jeol.com)(总裁兼营运长:大井泉)宣布,将於2019年8月推出新型肖特基(Schottky)场发射扫描电子显微镜JSM-F100。
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背景
扫描电子显微镜(SEM)应用於不同的领域:奈米技术、金属、半导体、陶瓷、医学和生物学等。随着应用范围的扩大,SEM使用者需要快速、高品质的资料擷取及简单的组成资讯确认和无缝操作。
JSM-F100搭载我们备受推崇的浸没式(In-lens)肖特基Plus场发射电子枪和"Neo Engine"(电子光学控制系统),以及全新的GUI "SEM Center"和创新的“即时影像视觉增强器-人工智慧(LIVE-AI)滤镜”,实现了高空间解析度成像和可操作性的最优组合。此外,标準的JEOL能量色散型X射线光谱仪(EDS)完全整合於"SEM Center"內,可实现从影像到元素分析结果的无缝採集。JSM-F100提供卓越的工作效率,高出我们之前的JSM-7000系列50%或以上,实现了生产量的显着提高。
特性
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规格 |
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解析度(1 kV) |
1.3奈米 |
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解析度(20 kV) |
0.9奈米 |
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加速电压 |
0.01至30 kV |
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标準检测器 |
高位电子检测器(UED),二次电子检测器(SED) |
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电子枪 |
浸没式肖特基Plus场发射电子枪 |
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探头电流 |
几pA至300 nA (30 kV) |
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物镜 |
混合式透镜(HL) |
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样品台 |
全优中心(eucentric)测角仪样品台 |
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样品移动 |
X轴:70毫米,Y轴:50毫米,Z轴:2至41毫米 |
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EDS检测器 |
能量解析度:133 eV或更低 |
目标年销量
60台/年
日本电子株式会社
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan
大井泉,总裁兼营运长
(股票代码:6951,东京证券交易所第一部)
www.jeol.com
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CONTACT:
日本电子株式会社
科学与测量仪器销售部
Kazunori Kitazumi
+81-3-6262-3567
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JSM-F100 (Photo: Business Wire)
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