―全新等級的智慧分析場發射掃描電子顯微鏡(FE-SEM),兼具高解析度和強大的可操作性―
東京--(美國商業資訊)--日本電子株式會社(JEOL Ltd.) (TOKYO:6951) (www.jeol.com)(總裁兼營運長:大井泉)宣布,將於2019年8月推出新型肖特基(Schottky)場發射掃描電子顯微鏡JSM-F100。
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背景
掃描電子顯微鏡(SEM)應用於不同的領域:奈米技術、金屬、半導體、陶瓷、醫學和生物學等。隨著應用範圍的擴大,SEM使用者需要快速、高品質的資料擷取及簡單的組成資訊確認和無縫操作。
JSM-F100搭載我們備受推崇的浸沒式(In-lens)肖特基Plus場發射電子槍和"Neo Engine"(電子光學控制系統),以及全新的GUI "SEM Center"和創新的「即時影像視覺增強器-人工智慧(LIVE-AI)濾鏡」,實現了高空間解析度成像和可操作性的最優組合。此外,標準的JEOL能量色散型X射線光譜儀(EDS)完全整合於"SEM Center"內,可實現從影像到元素分析結果的無縫採集。JSM-F100提供卓越的工作效率,高出我們之前的JSM-7000系列50%或以上,實現了生產量的顯著提高。
特性
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規格 |
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解析度(1 kV) |
1.3奈米 |
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解析度(20 kV) |
0.9奈米 |
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加速電壓 |
0.01至30 kV |
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標準檢測器 |
高位電子檢測器(UED),二次電子檢測器(SED) |
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電子槍 |
浸沒式肖特基Plus場發射電子槍 |
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探頭電流 |
幾pA至300 nA (30 kV) |
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物鏡 |
混合式透鏡(HL) |
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樣品台 |
全優中心(eucentric)測角儀樣品台 |
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樣品移動 |
X軸:70毫米,Y軸:50毫米,Z軸:2至41毫米 |
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EDS檢測器 |
能量解析度:133 eV或更低 |
目標年銷量
60台/年
日本電子株式會社
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan
大井泉,總裁兼營運長
(股票代碼:6951,東京證券交易所第一部)
www.jeol.com
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JSM-F100 (Photo: Business Wire)
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