截至2026年2月27日 13:29，上證科創板半導體材料設備主題指數(950125)下跌2.19%。成分股方面漲跌互現，歐萊新材領漲6.26%，富創精密上漲0.64%，晶升股份上漲0.08%；盛美上海領跌8.44%，京儀裝備下跌4.72%，安集科技下跌4.26%。科創半導體ETF(588170)下跌2.05%，最新報價1.87元。拉長時間看，截至2026年2月26日，科創半導體ETF今年以來累計上漲26.51%。
流動性方面，科創半導體ETF盤中換手11.71%，成交10.06億元，市場交投活躍。拉長時間看，截至2月26日，科創半導體ETF近1周日均成交10.69億元。
規模方面，科創半導體ETF最新規模達88.04億元，創成立以來新高。
資金流入方面，科創半導體ETF最新資金淨流入1.72億元。拉長時間看，近17個交易日内有10日資金淨流入，合計「吸金」3.08億元，日均淨流入達1812.58萬元。（數據來源：Wind）
跟蹤精度方面，截至2026年2月26日，科創半導體ETF近1月跟蹤誤差為0.007%，在可比基金中跟蹤精度最高。
相關ETF：
科創半導體ETF（588170）及其聯接基金（A類：024417；C類：024418）：跟蹤指數是科創板唯一的半導體設備主題指數，其中先進封裝含量在全市場中最高（約50%），聚焦於科技創新前沿的硬核設備公司。
半導體設備ETF華夏（562590）及其聯接基金（A類：020356；C類：020357），跟蹤中證半導體材料設備主題指數，其中半導體設備的含量在全市場指數中最高（約63%），直接受益於全球芯片漲價潮對「賣鏟人」（設備商）的確定性需求。
内容來源：有連雲
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