截至2025年10月13日 14:23，上證科創板半導體材料設備主題指數(950125)強勢上漲2.49%，成分股富創精密(688409)上漲9.19%，滬矽産業(688126)上漲9.02%，中科飛測(688361)上漲8.41%，龍圖光罩(688721)，芯源微(688037)等個股跟漲。科創半導體ETF(588170)上漲2.26%，最新價報1.54元。拉長時間看，截至2025年10月10日，科創半導體ETF近2周累計上漲1.90%。
流動性方面，科創半導體ETF盤中換手24.46%，成交7.05億元，市場交投活躍。拉長時間看，截至10月10日，科創半導體ETF近1周日均成交8.98億元，排名可比基金第一。
規模方面，科創半導體ETF最新規模達28.64億元，創成立以來新高，位居可比基金1/3。
份額方面，科創半導體ETF最新份額達19.09億份，創成立以來新高，位居可比基金1/3。
資金流入方面，科創半導體ETF最新資金淨流入1.61億元。拉長時間看，近4個交易日内有3日資金淨流入，合計「吸金」5.08億元，日均淨流入達1.27億元。
跟蹤精度方面，截至2025年10月10日，科創半導體ETF近1月跟蹤誤差為0.005%，在可比基金中跟蹤精度最高。
科創半導體ETF緊密跟蹤上證科創板半導體材料設備主題指數，上證科創板半導體材料設備主題指數選取科創板内業務涉及半導體材料和半導體設備等領域的上市公司證券作為指數樣本，以反映科創板半導體材料和設備上市公司證券的整體表現。
數據顯示，截至2025年9月30日，上證科創板半導體材料設備主題指數(950125)前十大權重股分別為中微公司(688012)、華海清科(688120)、拓荊科技(688072)、滬矽産業(688126)、安集科技(688019)、中科飛測(688361)、芯源微(688037)、盛美上海(688082)、華峰測控(688200)、天嶽先進(688234)，前十大權重股合計佔比74.36%。
科創半導體ETF(588170)，場外聯接(華夏上證科創板半導體材料設備主題ETF發起式聯接A：024417；華夏上證科創板半導體材料設備主題ETF發起式聯接C：024418)。
内容來源：有連雲
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