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鼎龍股份:控股子公司抛光液産品通過客戶端驗證並開啓計劃采購

日期: 2022年3月10日 上午11:45

發布易3月10日 - 鼎龍股份(300054)公告稱,公司控股子公司武漢鼎澤新材料技術有限公司的氧化鋁抛光液産品在某家公司28nm節點HKMG工藝的Al CMP制程驗證通過。該産品使用氧化鋁研磨粒子和高分子聚合物,是所有抛光液中技術最難的關鍵材料,公司已突破技術難關,實現三種關鍵材料的自主制備。該款搭載公司自制研磨粒子的抛光液産品,是目前尚未取得國産化材料突破的卡脖子抛光液型號之一,難度極高,其各項參數均達到客戶應用要求,通過客戶端全方面工藝參數驗證,並已進入噸級采購階段。本項目是公司CMP全局平坦化綜合解決方案的重要組成部分,也將形成公司新的新産品增長級。

來源:發布易

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