總投資20億元！萬業企業攜手寧波芯恩打造國内集成電路設備龍頭

12月22日晚間，萬業企業（600641.SH）發布公告，公司攜手控股子公司寧波芯恩成立長三角一體化示範區（浙江嘉善）嘉芯半導體設備科技有限公司（以下簡稱「嘉芯半導體」），擬以20億元總投資規模，重點打造國内集成電路設備龍頭企業，覆蓋刻蝕、薄膜沈積、快速熱處理及退火、清洗設備等多款集成電路核心前道設備，形成「1+N」産品平台模式，多方位布局半導體核心設備賽道。

據公告顯示，嘉芯半導體成立于2021年4月，萬業企業持股占比80%為其第一大股東，寧波芯恩持股占比20%。2021年12月22日，嘉芯半導體與嘉善縣西塘鎮人民政府簽訂項目投資協議書和補充協議。項目未來將形成年産2450台/套新設備和50台/套半導體翻新裝備研發及制造基地，用地面積109畝，投資總額達20億元，萬業企業作為控股股東出資不超過8億元。

目前，全球半導體市場芯片供應緊縮、芯片需求爆發，銷售額連續17個月同比正增長，晶圓廠商紛紛加大資本開支進行擴産。2020年中國大陸半導體設備銷售額達187億美元，全球占比約30%。據集微咨詢數據，目前大陸地區晶圓廠現有産能折合8寸約162萬片/月，總規劃産能折合8寸為462萬片/月，潛在擴産産能折合8寸達到300萬片/月。從2021年來看，預計新增産能折合8寸64萬片/月，未來幾年晶圓廠擴産將持續活躍帶動高位設備需求。

業内人士指出，由于設備技術位于行業頂尖高端技術水平，對于半導體産業的發展具有戰略性支撐地位，因此國産替代是國内晶圓廠的共識，有望為國産設備帶來發展機遇期。當前國内半導體市場仍以進口設備為主，設備國産率仍偏低。根據《中國制造2025》的規劃，2025年半導體核心基礎零部件、關鍵基礎材料應實現70％的自主保障。而萬業企業以原有離子注入機業務疊加嘉芯半導體打造「1+N」模式，可進一步增厚設備技術護城河，築基多産品設備龍頭地位。

據悉，嘉芯半導體致力于開拓國内半導體設備領域市場，未來將形成以刻蝕設備、薄膜沈積設備、快速熱處理及退火設備、清洗設備尾氣處理設備等為主的研發制造及再制造能力，實現半導體關鍵設備的自主可控。公司將設立6個子公司，2個事業部，主要從事刻蝕機、快速熱處理、薄膜沈積、單片清洗機、槽式清洗機、尾氣處理、機械手臂等8寸和12寸半導體新設備開發生産及設備再制造等相關業務，産品範圍覆蓋芯片制造核心設備的大部分品類，可自主研發和再制造刻蝕、薄膜沈積、清洗設備等10類産品。

值得一提的是，伴隨功率器件、MEMS、電源管理芯片等特色工藝應用的快速增長推動了8英寸晶圓需求爆發，該項目將先後布局8寸設備與12寸設備市場，有望為當下主流成熟制程提供高性能的産品。

此外，嘉芯半導體第二大股東為寧波芯恩，持股占比20%。據企查查顯示，寧波芯恩的主要股東為中芯國際創始人張汝京博士，張博士是全球知名半導體集成電路産業著名的技術與運營管理專家，擁有40余年的半導體集成電路微納工程制造技術、材料、裝備等領域的研發和産業化經驗。他在美國德州儀器工作了20年，從TI提早退休後，曾任中國台灣世大半導體總經理。2000年，張汝京博士募集14億美元創辦中芯國際，向世界芯片制造第一梯隊沖刺。隨後，其陸續在國内投資了幾家LED企業，並于2014年創辦新昇半導體，為大陸半導體産業彌補了矽材料的短板。2018年，張汝京博士再次創業，投身于大陸首個共享共有式集成電路制造(CIDM)項目芯恩半導體。

近年來，萬業企業轉型聚焦半導體設備和材料領域，2018年率先收購凱世通，進而成為全球少數掌握全領域離子注入機核心設備技術的高新企業。今年5月，萬業企業旗下的凱世通低能大束流離子注入機率先在國内12英寸主流集成電路芯片制造廠完成設備驗證驗收工作，這也是國産首台完成主流客戶驗證並確認收入的國産低能大束流設備，標誌國産化設備在成熟工藝這一重大技術領域取得商用化突破。此外，凱世通重金屬離子注入機和超低溫大束流離子注入機已完成客戶交付，高能離子注入機設備按客戶交付計劃進行組裝，同時公司與國内另一家12英寸芯片制造廠分別簽署1台低能大束流超低溫離子注入機和1台高能離子注入機訂單。值得一提的是，2020年萬業企業聯合境内外投資人收購Compart Systems，提升集成電路設備領域核心組件與部件的國産化率，填補本土供應鏈空白。

分析人士認為，本次成立的嘉芯半導體項目疊加其原有的凱世通離子注入機業務，萬業企業打造的「1+N」全領域前道設備平台化效應進一步凸顯，將成為目前國内設備品類最為齊全的集成電路龍頭平台企業之一。

萬業企業表示，未來公司將通過自主研發與外延式並購雙輪驅動，紮實推動公司快速向集成電路産業領域轉型，不斷提高集成電路的整體業務占比，增厚公司核心競爭力。隨著半導體設備自主可控的緊迫性和必要性進一步凸顯，國産替代進程正全面提速，萬業企業將助力國産高端半導體設備材料步入加速上升通道，持續推動中國集成電路産業健康蓬勃發展。

來源：發布易