央視《新聞聯播》關注光刻膠技術難題 晶瑞股份攜手姑蘇實驗室開展聯合攻關

近日，據央視《新聞聯播》報道，在蘇州工業園區材料科學姑蘇實驗室，來自全國的十幾位材料科學領域研究人員，正圍繞蘇州一家企業提出的光刻膠技術難題開展聯合攻關。

據悉，姑蘇實驗室是江蘇省重點科創實驗室，總投資200個億。實驗室瞄准國家戰略需求和蘇州未來産業發展方向，匯聚全球科技人才解決産業發展中的「卡脖子」問題。雖然成立不到一年，但實驗室已經在高端材料生長系統、人工智能材料大數據、光譜成像芯片三個方向取得重要進展。

創新是企業核心競爭力的源泉，很多核心技術是求不到、買不來的。衆所周知，光刻機被譽為半導體制造業皇冠上的明珠，是發展國産芯片的關鍵技術。而光刻膠作為生産芯片的關鍵材料、高值耗材産品，目前主要被日本、美國企業壟斷，成為我國芯片産業發展所面臨的一大難題。

科技如何自立自強，「卡脖子」的核心技術如何突破？業内人士指出，這一方面需要頂層設計支持，另一方面也需要從事實體經濟的企業勇于投入科研攻關。在光刻膠領域，這一趨勢越來越明顯，特別是近年來我國芯片産業開始高速發展，對于光刻膠的需求就更加明顯了。

據悉，攜手姑蘇實驗室聯合攻關光刻膠技術難題的蘇州企業正是晶瑞股份（300655）。據介紹，晶瑞股份是國内最早實現光刻膠規模量産的領先企業，公司致力于打造微電子材料企業聯合體，突破中國半導體行業關鍵卡脖子材料。目前，公司生産的負膠已完全實現國産替代，i線光刻膠批量供應S公司、長鑫等主流半導體廠。

2021年1月19日，晶瑞股份經多方協商、積極運作購得的ASML XT 1900 Gi型光刻機，運抵蘇州並成功搬入公司高端光刻膠研發實驗室。市場人士分析稱，此舉有助于公司將光刻膠産品序列實現到ArF光刻膠的跨越，並最終實現應用于12英寸芯片制造的戰略布局。

數據顯示，2019年我國g線/i線光刻膠的自給率僅有20%，KrF光刻膠自給率不足5%，ArF光刻膠則完全依賴進口，作為高值耗材的産品，我國每年都需要從海外大量進口光刻膠，這顯然是不利于國内半導體産業發展的情況。

晶瑞股份表示，目前公司已完成中試的KrF光刻膠已進入客戶測試階段，達到0.15μm的分辨率。後續，公司將繼續加強科研攻堅，提升關鍵設備的技術先進性，加快産品研發項目，以科技自立自強支撐實業的發展。相信，只要中國企業能夠腳踏實地幹下去，就必定可以打破海外的技術封鎖，實現半導體産業完全自主。

來源：發布易