ARS可顯著提高半導體産量和工具正常運行時間。
明尼阿波利斯--(美國商業資訊)--高精度3D傳感技術解決方案的全球領先開發商和制造商CyberOptics® Corporation (NASDAQ: CYBE)將參加2020年2月5日至7日在首爾COEX（韓國國際會展中心）舉行的韓國半導體工業技術展覽會(SEMICON Korea)，展位號為C236。展會期間，該公司將發布和展示其新的WaferSense® Auto Resistance Sensor™ (ARS)和用于半導體工具設置與診斷的CyberSpectrum™軟件。
該公司的300mm自動電阻傳感器(ARS)和CyberSpectrum軟件可在半導體電化學沈積(ECD)應用中實時測量鍍層cell觸點的電阻。ARS使用開爾文傳感（4線電阻）方法快速識別並監視周圍50個獨立焊盤的電阻測量值，以檢測影響電鍍引腳的殘留物。
它讓半導體晶圓廠的工藝和設備工程師可以通過對一段時期内測得的平均電阻進行定量分析來預測工具何時需要維護，縮短設備維護周期，並利用類似晶片的4線電阻傳感器和CyberSpectrum軟件的客觀和可重複數據來改善cell之間的一致性。
CyberOptics總裁兼首席執行官Subodh Kulkarni博士表示：“我們擴展了我們專有的WaferSense設備産品線，這些設備現已被全球半導體晶圓廠和設備OEM所使用，以顯著提高産量和延長工具正常運行時間。新的ARS可以無線方式獲取和監控半導體晶圓廠中電化學沈積應用的實時電阻測量值。與我們的其他WaferSense設備類似，它還可以節省時間和費用並改進工藝。”
CyberOptics還將展示WaferSense自動振動和調平傳感器(AVLS3)。AVLS3僅有3.5毫米厚，可以輕松地運送到晶圓經過的大多數晶圓廠位置。化學硬化玻璃(CHG)基板幫助實現了平滑的晶圓處理和更好的真空吸附。AVLS3與CyberSpectrum軟件相結合，可同時收集和顯示振動與調平數據，以實現快速設備設置、校准和實時設備診斷。
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CyberOptics Corporation (www.cyberoptics.com)是一家全球領先的高精度3D傳感技術解決方案開發商和制造商。CyberOptics傳感器應用于SMT和半導體資本設備市場的檢測和計量，可顯著提高産量和生産力。公司已利用其前沿技術在戰略上將自身定位成高精度3D傳感器領域的全球領先企業，這讓CyberOptics能夠進一步增加公司向關鍵垂直市場的滲透。CyberOptics總部位于明尼蘇達明尼阿波利斯，公司通過在北美、亞洲和歐洲的工廠開展全球運營。
有關該公司預期業績的陳述為前瞻性陳述，因此會受到風險和不確定性的影響，包括但不僅限于：全球SMT和半導體資本設備産業的市場條件；美國與其他國家之間的貿易關系；公司産品訂單和出貨時間，尤其是支持MRS的3D AOI系統；該公司産品銷售尤其是其SMT系統所面臨的不斷加劇的價格競爭和價格壓力；來自該公司OEM客戶的訂單水平；滿足客戶訂單要求所需的零部件供應情況；預期的産品開發挑戰；全球事件對該公司銷售的影響，其中多數來自國外客戶；電子和半導體市場技術的快速變化；競爭對手推出的新産品和定價情況；能否成功把握我們的3D技術計劃機會；我們的SQ3000 3D CMM 系統、半導體高級封裝檢測和計量産品及CyberGage360産品的市場接受度；針對第三方的高昂且耗時的知識産權侵犯訴訟；以及在該公司向美國證券交易委員會提交的文件中陳述的其他因素。
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CyberOptics WaferSense自動電阻傳感器（照片：CyberOptics Corporation）
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