漲超1.2%，半導體設備ETF華夏(562590)沖擊5連漲，成交額突破2.6億元

截至2026年2月26日 13:35，中證半導體材料設備主題指數(931743)強勢上漲1.30%，成分股京儀裝備上漲8.08%，長川科技上漲6.34%，神工股份上漲5.14%，芯源微，拓荊科技等個股跟漲。半導體設備ETF華夏(562590)上漲1.23%， 沖擊5連漲。

流動性方面，半導體設備ETF華夏盤中換手9.42%，成交2.61億元。拉長時間看，截至2月25日，半導體設備ETF華夏近1周日均成交1.99億元。

跟蹤精度方面，截至2026年2月25日，半導體設備ETF華夏今年以來跟蹤誤差為0.011%，在可比基金中跟蹤精度最高。

相關ETF：科創半導體ETF（588170）及其聯接基金（A類：024417；C類：024418）：跟蹤指數是科創板唯一的半導體設備主題指數，其中先進封裝含量在全市場中最高（約50%），聚焦於科技創新前沿的硬核設備公司。

半導體設備ETF華夏（562590）及其聯接基金（A類：020356；C類：020357），跟蹤中證半導體材料設備主題指數，其中半導體設備的含量在全市場指數中最高（約63%），直接受益於全球芯片漲價潮對「賣鏟人」（設備商）的確定性需求。

内容來源：有連雲