精測電子：多台光學前道測量設備從上海精測半導體新工廠啓運

近日，精測電子（300567）子公司——上海精測半導體第三批前道光學測量設備從新廠順利出貨，再度交付華北大客戶，為公司成立四周年生日獻禮。

據介紹，上海精測半導體本次向客戶輸出了EFILM®系列光學膜厚測量設備和EPROFILE®系列光學關鍵尺寸測量(Optical Critical Dimension, OCD)設備。其中，該光學膜厚測量設備適用于28nm FEOL和14nm BEOL節點制程，搭載多套測量系統，可以支持寬譜穆勒橢偏測量、高精度單波長橢偏測量，垂直反射率測量，混合測量等多種模式，可根據客戶需求進行最優化彈性配置，適用于Gate Ox、SiON、HK/MG、SiGe、Thin ONO、ILD/IMD、SOI 等膜層結構的厚度、折射率、組分、反射率、膜應力等測量；OCD測量設備，主要應用于28nm節點及以上制程，滿足客戶二維或三維淺溝槽隔離、柵極、源漏區等結構的線寬、側壁角、高度/深度等關鍵尺寸在線量測的多方面需求，進而可為客戶創造更多價值。

另外，本次出機的設備均在上海精測半導體新建研發總部裝備制造基地完成總裝、調試。新裝備制造基地坐擁約4000平方米無塵車間，未來將具備150+的整機裝調機台位，目前已規劃五條柔性集成裝配、軟硬件調試生産線和一條光學分系統離線柔性測調流水線。

受上半年疫情影響，上海精測半導體部分業務不可避免地被延期。但疫情防控期間，上海精測半導體在嚴格執行防控各項要求的同時，秉承「居家辦公不脫崗，工作任務雲執行」的宗旨，確保各環節的運營仍在有序推進。自6月復工復産以來，公司生産中心裝配團隊開足馬力、24小時不停歇，在全過程嚴格苛刻管控質量的前提下，竭力追趕進度，力爭最大限度降低客戶損失。同時，上海精測半導體亦已合理規劃内部各環節的協同合作，並詳盡策劃了後續設備出機的預案。

來源：發布易