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大族激光：公司光刻機項目分辨率3-5μm 已實現小批量銷售

日期： 2021年5月27日 下午1:19

發布易5月27日 - 大族激光（002008）在互動平台上表示，公司光刻機項目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等領域的應用，已實現小批量銷售。

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來源：發布易

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