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大族激光:公司光刻机项目分辨率3-5μm 已实现小批量销售

日期:2021年5月27日 下午1:19

发布易5月27日 - 大族激光(002008)在互动平台上表示,公司光刻机项目分辨率3-5μm,主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用,已实现小批量销售。

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来源:发布易

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