日本電子株式會社推出新型蕭特基場發射掃描電子顯微鏡JSM-IT800

－具有智慧科技(IT)平臺的場發射掃描電子顯微鏡(FE-SEM)－

東京--(美國商業資訊)--日本電子株式會社(JEOL Ltd., TOKYO:6951)（總裁兼營運長：Izumi Oi）宣佈於2020年5月推出新型蕭特基場發射掃描電子顯微鏡JSM-IT800。

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開發背景

掃描電子顯微鏡(SEM)應用於各種領域，例如奈米科技、金屬、半導體、陶瓷、醫學和生物學。隨著SEM應用從研發擴展到生產現場的品質管制和產品檢驗，SEM使用者需要更快的優質資料擷取以及簡單的組成資訊確認和無縫操作。

為了符合這些需求，帶有智慧科技(IT)平臺的JSM-IT800整合了用於從高解析度影像到快速元素映射的浸沒式(In-lens)蕭特基Plus場發射電子槍、創新的電子光學控制系統“Neo Engine”，以及可與JEOL能量色散X射線光譜儀(EDS) 完全整合的無縫GUI“SEM Center”。JSM-IT800提供兩個版本，分別配備不同的物鏡：用於通用SEM的混合透鏡(HL)和用於增強解析度觀察和各種分析的超級混合透鏡(SHL)。

此外，SHL版本還配有新的高位混合檢測器(UHD)，可實現更高的訊噪比影像。

JSM-IT800還提供新的閃爍體背散射電子檢測器(SBED)和多功能背散射電子檢測器(VBED)。

特性

1. 浸沒式蕭特基Plus場發射電子槍

電子槍與低像差聚光透鏡的進一步整合提供更高的亮度。在低加速電壓下（5 kV時為100 nA）具有足夠的探頭電流。獨特的浸沒式蕭特基Plus系統可實現從高解析度影像到快速元素映射、電子背散射衍射(EBSD)分析以及軟X射線發射光譜(SXES)的各種應用，而無需更改透鏡條件。

2. Neo Engine（新型電子光學引擎）

Neo Engine是累積了JEOL多年核心技術的尖端電子光學系統。即使更改觀察或分析條件，用戶仍可執行穩定觀察。其自動化功能的高度可操作性得到進一步升級。

3. SEM Center / EDS整合

GUI “SEM Center”和JEOL EDS的完全整合可提供無縫、直覺式的操作。JSM-IT800可以添加選擇性軟體附加元件予以升級，例如輔助新手用戶的SMILENAVI，以及用於獲得更高品質即時影像的LIVE-AI濾鏡(Live Image Visual Enhancer – AI)。

4. 混合鏡頭(HL)版本和超級混合鏡頭(SHL)版本

以靜電場和電磁場透鏡的組合為基礎，JSM-IT800提供兩種類型的物鏡以符合用戶的各種需求，可獲得高空間解析度影像，和從磁性材料到絕緣體的各種樣品分析功能。

5. 高位混合檢測器(UHD)

SHL版本的物鏡中內建的UHD可大幅提高檢測效率，能獲得具有更高訊噪比的影像。

6. 新型背散射電子檢測器

閃爍體背散射電子檢測器（SBED，選擇性）具有高回應度，適合在低加速電壓下獲取與材料形成對比的影像。具有分段檢測器元件設計的多功能背散射電子檢測器（VBED，選擇性）允許使用者選擇配置單個段或使用預先程式設計的檢測器設定來獲取具有三維、局部或成分資訊的影像。

銷售目標

1) JSM-IT800 SHL版本：90台/年
2) JSM-IT800 HL版本：50台/年

日本電子株式會社(JEOL Ltd.)
日本東京都昭島市武藏野3丁目1番2號，郵遞區號：196-8558
總裁兼營運長：Izumi Oi
（股票代碼：6951，東京證券交易所第一部）www.jeol.com

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科學和測量儀器銷售部
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JSM-IT800（照片：美國商業資訊）