GIGAPHOTON研究部技術顧問鈴木章義先生獲得「SPIE Frits Zernike Award」獎、CTO 溝口計先生當選研究員

在同行業取得的顯著業績、對學會作出的巨大貢獻受到充分肯定

栃木縣小山市 -- (美國商業資訊) -- 半導體光刻光源制造商GIGAPHOTON株式會社（總部：栃木縣小山市、董事長兼總經理：浦中克己）宣布，在國際光學工程學會（The International Society for Optics and Photonics：SPIE）上，GIGAPHOTON的研究部技術顧問鈴木章義先生獲得“SPIE Frits Zernike Award in Microlithography”獎、副總經理兼CTO溝口計先生當選SPIE研究員。

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光刻技術領域的主要學會SPIE于2002年設立了Frits Zernike Award獎，以曾于1953年因位相差顯微鏡獲得諾貝爾物理學獎、給光刻技術帶來了巨大影響的Zernike博士的名字命名，是一項很有權威的獎項，可以說是“光刻界的諾貝爾獎”。該獎只頒發給在所屬行業作出突出貢獻的人員，獲獎人員迄今已有14名，但鈴木先生是獲得該獎的首位日本人。在40余年的職業生涯中，對于接觸式曝光機、1：1掃描儀、g線、i線、KrF步進器、KrF/ArF/液浸掃描儀、EUV曝光機、NIL等，鈴木先生對從黎明期到現在所有光刻設備的技術革新方面做出了突出的業績，此次獲獎也是對他本人的充分肯定。
鈴木先生作了這樣的發言。“産業界的人員能夠獲得SPIE這一學術團體頒發的獎項，有力地證明了我們正在研發的光刻技術具有很強的科學性，是具有挑戰性的高科技産業的一部分。非常感謝與我一起共事的同仁們。”

GIGAPHOTON副總經理兼CTO溝口計先生長期以來為光刻技術作出了重大貢獻，被選為SPIE的研究員。在至今約30年的時光里，從DUV激光（KrF/ArF/F2）到EUV光源，溝口先生擁有突出的尖端産品開發業績，發表了100多篇論文，能夠獲得這一稱號可以說是實至名歸。光源技術人員能夠當選研究員，這在全世界還是第一次。另外，此次溝口先生的當選，SPIE學會中與光刻相關的日籍研究員共有6名，包括前述的鈴木先生、OB的岡崎信次先生在内，有3名人員都與GIGAPHOTON相關。
溝口先生作了這樣的發言。“本次能夠當選研究員，不光是因為發表論文，還因為是對將論文中的技術變成實實在在的産品、對GIGAPHOTON以及相關人員所付出的努力的充分肯定。在此，我除了要與大家分享快樂外，還要對大家表示衷心感謝。今後我會一心一意地推進技術開發並培養後繼人員，決不會讓研究員這一稱呼蒙羞。”

＊2/25 鈴木先生、溝口先生在“SPIE Welcome and Plenary presentations”頒獎儀式上。
＊2/28 鈴木先生、溝口先生在“GIGAPHOTON-SPIE Lunch Session”上發表演講。

GIGAPHOTON公司簡介

GIGAPHOTON公司成立于2000年，作為一家激光器的供應商，自成立以來一直為全球的半導體生産廠商提供有價值的解決方案。GIGAPHOTON時刻以客戶為中心，從産品研發到生産、銷售及維護，為用戶提供業界最高水准的支持。更為詳細的介紹請您訪問：www.GIGAPHOTON.com。

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鈴木章義先生 (照片：美國商業資訊)

溝口計先生 (照片：美國商業資訊)