截至2026年4月27日 14:59，中證半導體材料設備主題指數(931743)強勢上漲6.22%，成分股芯源微上漲17.87%，富創精密上漲16.98%，龍圖光罩上漲11.59%，長川科技，中科飛測等個股跟漲。半導體設備ETF華夏(562590)上漲6.40%，最新價報2.06元。拉長時間看，截至2026年4月24日，半導體設備ETF華夏近1周累計上漲2.43%。
流動性方面，半導體設備ETF華夏盤中換手11.56%，成交3.25億元，市場交投活躍。拉長時間看，截至4月24日，半導體設備ETF華夏近1周日均成交1.66億元。
規模方面，半導體設備ETF華夏近1周規模增長2897.00萬元，實現顯著增長，新增規模位居可比基金2/5。（數據來源：Wind）
數據顯示，槓桿資金持續佈局中。半導體設備ETF華夏最新融資買入額達389.25萬元，最新融資餘額達2290.49萬元。（數據來源：Wind）
跟蹤精度方面，截至2026年4月24日，半導體設備ETF華夏今年以來跟蹤誤差為0.013%，在可比基金中跟蹤精度最高。
内容來源：有連雲
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