成交額超1億元，半導體設備ETF華夏(562590)今年以來漲23%

截至2026年3月2日 13:50，中證半導體材料設備主題指數(931743)下跌1.38%。成分股方面漲跌互現，拓荊科技領漲4.67%，晶升股份上漲3.30%，雅克科技上漲1.52%；中科飛測領跌6.68%，有研矽下跌6.00%，神工股份下跌5.21%。半導體設備ETF華夏(562590)下跌1.65%，最新報價1.97元。拉長時間看，截至2026年2月27日，半導體設備ETF華夏今年以來累計上漲23.66%。

流動性方面，半導體設備ETF華夏盤中換手4.29%，成交1.13億元。拉長時間看，截至2月27日，半導體設備ETF華夏近1月日均成交1.76億元。

規模方面，半導體設備ETF華夏最新規模達26.72億元。

跟蹤精度方面，截至2026年2月27日，半導體設備ETF華夏今年以來跟蹤誤差為0.011%，在可比基金中跟蹤精度最高。

相關ETF：科創半導體ETF（588170）及其聯接基金（A類：024417；C類：024418）：跟蹤指數是科創板唯一的半導體設備主題指數，其中先進封裝含量在全市場中最高（約50%），聚焦於科技創新前沿的硬核設備公司。

半導體設備ETF華夏（562590）及其聯接基金（A類：020356；C類：020357），跟蹤中證半導體材料設備主題指數，其中半導體設備的含量在全市場指數中最高（約63%），直接受益於全球芯片漲價潮對「賣鏟人」（設備商）的確定性需求。

内容來源：有連雲