近日，九峰山實驗室化合物半導體中試平台-工藝平台深度聯動國產原子層沉積（ALD）設備廠商，實現了ALD Mo工藝新突破——以穩定、高效的MoCl₂O₂原料為前驅體，在400℃下製備出高性能金屬鉬薄膜，這是國內首次基於8英寸平台實現該工藝的開發。作為實驗室在化合物半導體根技術領域的重要突破，該工藝在電阻率、均勻性、台階覆蓋率等關鍵指標上達到量產要求，對化合物半導體器件性能提升具有底層支撐作用，為國產設備與自主工藝的協同創新提供了可行樣本。
南方基金鄭曉曦關注半導體產業鏈投資機遇。她管理的南方信息創新混合持倉聚焦科技自立自強，其2026年度一季報顯示，其前十大重倉股中包括拓荊科技、北方華創、中微公司等擁有領先技術的國產半導體產業鏈龍頭企業。另一隻產品南方半導體產業股票則深耕半導體芯片產業，尤其是光刻機模塊，其2026年度一季報顯示，其前十大重倉股中包括奧普光電、茂萊光學等國產核心企業。
南方信息創新混合（A 類：007490/C 類：007491）
南方半導體產業股票發起（A 類：020553/C 類：020554）
內容來源：有連雲
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