先進制程産品批量落地，本土企業成為半導體産業增長核心動力，半導體設備ETF萬家(159327)半日收漲1.57%

截至2026年3月30日午間收盤，中證半導體材料設備主題指數(931743)強勢上漲1.72%，成分股金海通10cm漲停，富創精密上漲5.71%，中晶科技上漲4.82%，華峰測控，華海清科等個股跟漲。半導體設備ETF萬家(159327)上漲1.57%。

消息面方面，全球半導體行業年度盛會SEMICON China 2026於3月25日至27日在上海舉辦。本屆展會以「跨界全球·心芯相聯」為主題，匯聚了1500餘家上下遊企業，吸引超18萬專業觀眾共襄盛舉。期間，中微公司推出新一代電感耦合ICP等離子體刻蝕設備Primo Angnova及高選擇性刻蝕機Primo Domingo，可支撐5納米及以下邏輯芯片與先進存儲制造；北方華創發佈12英寸D2W混合鍵合設備Qomola HPD30，成為國内首家完成客戶端工藝驗證的廠商；拓荊科技PECVD設備裝機量與工藝覆蓋率均達國内第一，並發佈ALD新品VS-300T Astra-sSiN，強化在高産能與低CoO領域的競爭力。

中信證券研報稱，SEMICON CHINA2026展現了中國半導體産業從單點突破到全産業鏈崛起、從成熟制程到先進制程突破、從國内市場到全球市場拓展的三大趨勢。隨著國産半導體設備、零部件、材料全環節的逐步突破，先進制程産品批量落地，海外依賴度持續下降，本土企業成為産業增長核心動力。

數據顯示，截至2026年2月27日，中證半導體材料設備主題指數(931743)前十大權重股分別為中微公司、北方華創、長川科技、拓荊科技、華海清科、滬矽産業、中科飛測、南大光電、芯源微、江豐電子，前十大權重股合計佔比63.83%。

資金流入方面，截至2026年3月27日，半導體設備ETF萬家最新資金淨流入390.83萬元。拉長時間看，近20個交易日内，合計「吸金」1576.57萬元。數據顯示，槓桿資金持續佈局中。半導體設備ETF萬家前一交易日融資淨買額達144.99萬元，最新融資餘額達1514.90萬元。

費率方面，半導體設備ETF萬家管理費率為0.50%，託管費率為0.10%，費率在可比基金中最低。

萬家中證半導體材料設備主題ETF(場内簡稱半導體設備ETF萬家，159327)緊密跟蹤中證半導體材料設備主題指數，具有高成長、高彈性的特徵。場外投資者可通過萬家中證半導體材料設備主題ETF發起式聯接(A：023828；C：023829)把握投資機會。

内容來源：有連雲