海外雲廠商資本開支持續攀升，半導體設備行業高景氣度長期邏輯依然堅實，半導體設備ETF萬家(159327)盤中漲超1%

截至2026年3月16日 13:56，中證半導體材料設備主題指數(931743)上漲0.93%，成分股華峰測控上漲4.92%，江化微上漲4.91%，上海新陽上漲4.77%，神工股份上漲4.49%，金海通上漲4.42%。半導體設備ETF萬家(159327)盤中漲超1%。拉長時間看，截至2026年3月13日，半導體設備ETF萬家近3月累計上漲12.76%。

近期，半導體設備行業雖短期承壓回調，但高景氣度的長期邏輯依然堅實。銀河證券指出，中芯國際明確2026年底月産能增量預計達折合12英寸4萬片，為國内半導體設備企業提供了持續穩定的業績增量空間；疊加「十五五」規劃綱要中強調「加快發展關鍵裝備、材料和零部件」，設備國産化戰略地位進一步強化。在AI算力基建加速與成熟制程擴産雙輪驅動下，設備環節訂單可見性與交付確定性持續提升。

海外雲廠商資本開支持續攀升，為半導體設備需求提供強支撐。招銀國際數據顯示，谷歌、微軟、Meta、亞馬遜、甲骨文等頭部廠商2025年合計資本開支約4200億美元，2026年預期將超6000億美元；未來12至24個月仍處於高投入、高交付的緊平衡狀態。AI驅動的結構性成長正推動設備廠商從庫存周期邏輯轉向産能前置邏輯，市場關注重點已由短期供需切換至長期ROIC改善路徑。

「十五五」規劃綱要正式發佈，明確提出「加快發展關鍵裝備」，並將集成電路列為重點培育新産業新賽道，強調提升先進制程制造能力、推進存算一體與三維集成等技術突破。銀河證券認為，政策從頂層設計層面強化了半導體設備作為産業鏈安全基石的戰略定位，國産設備企業在刻蝕、薄膜沉積、清洗等核心環節的替代進程有望加速。

數據顯示，截至2026年2月27日，中證半導體材料設備主題指數(931743)前十大權重股分別為中微公司、北方華創、長川科技、拓荊科技、華海清科、滬矽産業、中科飛測、南大光電、芯源微、江豐電子，前十大權重股合計佔比63.83%。

規模方面，截至2026年3月13日，半導體設備ETF萬家最新規模達10.27億元。從資金淨流入方面來看，半導體設備ETF萬家近3天獲得連續資金淨流入，最高單日獲得1231.02萬元淨流入，合計「吸金」3085.32萬元。（數據來源：Wind）

數據顯示，槓桿資金持續佈局中。半導體設備ETF萬家最新融資買入額達130.53萬元，最新融資餘額達1256.12萬元。（數據來源：Wind）費率方面，半導體設備ETF萬家管理費率為0.50%，託管費率為0.10%，費率在可比基金中最低。

半導體設備ETF萬家（159327）緊密跟蹤中證半導體材料設備主題指數，具有高成長、高彈性的特徵。場外投資者可通過聯接(A：023828；C：023829)把握投資機會。

内容來源：有連雲