至純科技：三季度半導體設備產能正在按擴產計劃逐步提高中

10月10日，至純科技(603690.CN)在上證e互動平台表示，公司三季度半導體設備的產能正在按今年的擴產計劃逐步提高中，預計年底產能可達150台。晶圓再生業務今年度將產生部分收入。