萬業企業：旗下薄膜沈積設備成功中標上海積塔特色工藝項目

7月29日，據上海積塔半導體設備中標結果公告顯示，萬業企業（600641.SH）旗下嘉芯迦能公司成功中標上海積塔半導體有限公司特色工藝生産線建設項目7台薄膜沈積設備，包括6台高密度等離子薄膜沈積設備（HDP-CVD）和1台二氧化矽等離子薄膜沈積設備（PECVD）。

另據介紹，7月萬業企業旗下嘉芯闳揚的快速熱處理設備（RTP）、嘉芯迦能的薄膜沈積設備均成功跻身上海積塔特色工藝産線。

來源：發布易