萬業企業旗下快速熱處理設備成功中標積塔半導體項目

據上海積塔半導體設備中標結果公告顯示，7月19日，萬業企業（600641.SH）旗下嘉芯闳揚成功中標上海積塔半導體有限公司特色工藝生産線建設項目快速熱處理（RTP）設備。

快速熱處理（RTP）是集成電路晶圓廠（Foundry）在芯片制造前道工藝中所需的關鍵設備，用于晶圓加工和多類芯片（Logic邏輯、3DNAND閃存、DRAM動態記憶體、PowerIC功率半導體、CMOS圖像傳感器）制造的氧化、擴散和退火制程。

來源：發布易