中微公司：鵬山資産、海通證券等513家機構於8月1日調研我司

2021-09-02日中微公司（688012）發佈公告稱：鵬山資産、海通證券、上海中金資本投資有限公司、深圳河床投資管理有限公司、安信證券股份有限公司、西部證券、白犀資産、安信資産管理有限公司、上海金辇投資管理有限公司、萬聯證券股份有限公司、國海證券研究所、旭松資本、深圳固禾資産管理有限公司、上海宇摩投資管理有限公司、卓嶺基金、IGWT Investment、東興證券、Acuity Knowledge、西南證券、國泰基金、中信保誠基金、大成資本、廣州市樂鑫股權投資基金管理有限公司、遠望角投資、上海煜德投資管理中心(有限合夥)、建信基金、中穎投資、豐琰投資、西藏合眾易晟投資管理有限公司、興銀基金、上海煜德投資管理中心、浙江殷實投資、中歐瑞博投資管理股份有限公司、安徽中珏投資、上海鈞犀實業有限公司、荷蘭匯盈投資、遠洋資本、開源證券、招商基金、匯豐晉信基金、中投公司、海通證券、東亞前海證券、北京成陽資産管理有限公司、成都市柏然私募基金管理有限公司、西南證券股份有限公司、廣發基金、APG ASSET Management、安聯證券投資信託股份有限公司、中銀資管、長江養老、浙商自營、興業銀行理財、元大投信、浙商資管、招銀國際資本管理(深圳)有限公司、中國人壽資産、上海創徒投資、中金公司、華泰新産業基金、博時基金、The Pictet Group、海通創新、興業基金、溪牛投資管理(北京)有限公司、天風國際、汐泰投資、明示夥伴基金、龍石資本、東吳基金、友邦保險資産管理、鵬城基石、嘉實基金、泰康養老保險股份有限公司、海富通基金管理有限公司、領骥資本、常億資本、上投摩根基金管理有限公司、上海仁佈投資管理有限公司、鵬揚基金、復華投信、安邦資産管理有限責任公司、Nomura International、盤厚資本、Baring Asset Management (Asia) Limited、中信證券、廣發證券、巨然管理咨詢有限公司、招商銀行、上海傑諷投資管理有限公司、豐嶺資本、國海證券、華夏基金、西藏源乘投資管理有限公司、國聯安基金、中信建投基金、太平基金、三井住友德思資産管理股份有限公司、上海肇萬資産管理有限公司、浙江錦和投資管理有限公司、百年保險資産管理、國融基金、上海混沌投資集團有限公司、上海弈慧投資管理有限公司、長江證券股份有限公司、青島韬觀投資、人保資産、聆澤投資、山合投資、碧雲資本、中建投資本、安信基金、雲杉投資、New Silk Road Investment、大成基金、上投摩根、浙江韶夏投資管理有限公司、招商證券香港資管、永安國富、申萬宏源資管、易知(北京)投資有限責任公司、淡泰資本、南華基金、東亞聯豐投資管理(深圳)有限公司、江西濟民可信集團、深圳前海精至資産管理有限公司、上海傑沨投資管理有限公司、雲能資本、創金合信基金、江海證券資管、國信證券、前海人壽保險股份有限公司、雲南能投資本投資有限公司、招商證券、江海證券、江海證券有限公司、德邦證券有限公司、國融資本、湧津投資、銳意資本、北京永瑞財富投資管理有限公司、交銀康聯資産管理有限公司、財信證券、上海彤源投資發展有限公司、匯蠡投資、Centerline IM、中華聯合、毅達股權投資基金管理有限公司、景林資産、國金證券、國泰君安證券投資部、民生通惠資産管理有限公司、平安銀行、天風證券研究所、澄懷投資、淡水泉投資、財通證券、杭銀理財、JPMorgan Asset Management (China) Limited、杭州錦翼投資、國盛證券、泰康資管、中銀國際證券、華泰證券、聚鳴投資、深圳市微明恒遠投資管理有限公司、中金基金管理有限公司、摩根士丹利華鑫基金、工銀瑞信、深圳市凡石資本管理有限公司、上海乘安資産管理有限公司、路博邁基金、Chicago Pacific、華安財保資産管理有限責任公司、順領資産、上海順領資産管理中心(有限合夥)、中天證券股份有限公司(自營)、富榮基金、朗潤利方資産管理有限公司、興業證券、淳厚基金、國元證券、方正證券、上海毅木資産管理有限公司、敦和資産、杭州玖龍資産管理有限公司、北京和信金創投資管理有限公司、宜信投資、上海保銀投資管理有限公司、臻遠投資、LSQ management、國泰投信(投資部)、灏浚投資、深圳睿澤資本、上海石鋒資産管理公司、東北證券、九派資本、中銀國際證券股份有限公司、北京萬銀華富資産管理有限公司、首創證券有限責任公司、光合未來(青島)投資管理有限公司、杭州寬合投資、上海慧琛私募基金、杭州潤洲投資管理有限公司、華安證券、上海世誠投資管理有限公司、光大保德信基金、中郵創業基金管理股份有限公司、開源證券股份有限公司、北京乾和私募基金管理有限公司、譽華資産管理(上海)有限公司、紅象投資管理有限公司、安信證券、中信保誠基金公司、未來資産大宇證券、亞太財産保險有限公司、平安基金管理有限公司、樂瑞資産、中信理財權益、長江證券研究所、國君資管、北京市星石投資管理有限公司、長江養老保險股份有限公司、廣發證券研究所、上海樸信投資管理有限公司、青骊投資、金信基金、元昊投資、華元恒道(上海)投資管理有限公司、中信證券股份有限公司、國投聚力投資管理有限公司、山東明湖投資管理有限公司、華菁證券(資管)、華安基金、國信證券股份有限公司、格林基金、天麒投資有限公司、光大保德信、湧德瑞烜(青島)私募基金管理有限公司、融通基金、敦和資産管理有限公司、西部利得基金、北京神農投資、華泰證券資産管理有限公司、愛建證券(自營)、殷實(廣州)私募證券投資基金管理有限公司、上海宏流投資管理有限公司、大家資産、財通基金、天風證券、上海匯華理財有限公司、中信建投證券股份有限公司(資管)、諾安基金、同泰基金、上海途靈資産管理有限公司、通用技術投資、興業銀行研究子公司、太和先機資産管理有限公司、東興基金、廣州雲禧私募證券投資基金管理有限公司、恒越基金、善道投資、明河投資、中睿合銀投資管理有限公司、長江養老保險、華潤元大基金管理有限公司、世誠投資、天安財産保險股份有限公司、畢盛(上海)投資管理有限公司、Lombard Odier、銀華基金、深圳市景從資産管理有限公司、申萬宏源資管權益投資總部、禹合資産管理有限公司、渤海匯金、瑞華投資、登程資産、上海乾璟投資管理、申萬宏源、天風國際證券、申萬宏源研究所、國聯證券、薔薇資本有限公司、誠業投資、中信建投證券、興銀理財、平安基金、亘曦資産、中信産業基金、國投瑞銀基金管理有限公司、雪石資産、施羅德投資、申銀萬國、歸德投資、興業信託資産管理部、湖北中經資本投資發展有限公司、馬可波羅中國資産管理公司、明世夥伴基金、幻方量化投資管理企業、君和資本、深圳前海固禾資産管理有限公司、北京合正普惠投資管理有限公司、中信建投證券股份有限公司、唐融投資、安信證券資産管理有限公司、浙江淳毅資産管理有限公司、中銀證券、國泰君安資管、嘉合基金、上海泊通投資管理有限公司、長江證券、首域盈信、深圳市智信創富資産管理有限公司、華西證券、上海伏明資産管理有限公司、北京凱讀投資管理有限公司、華夏理財有限責任公司、文治資本、長安基金、海通證券資産管理有限公司、沣楊資産管理有限公司、中融基金、磐厚動量(上海)資本管理有限公司、上海遠海資産、玖龍資産、東方阿爾法基金、盛世景資産、MINDHAND CAPITAL、高盛、北京擎天普瑞明投資管理有限公司、亞太財險、WT Asset、深圳金泊投資管理有限公司、Oakwise Capital、瑞橡資本、上海源品資産管理有限公司、睿格資産、北京泓澄投資管理有限公司、中信建投、上海執雲投資管理有限公司、中再資産、博笃投資、華美國際投資集團、鋆昊資本、華創研究所、南華基金管理有限公司、國盛證券研究所、Ruifeng Sec AM、北京時田豐投資管理有限公司、北信瑞豐基金、丹羿投資、南京弘翰資産管理有限公司、光大證券股份有限公司、幻方量化、陽光資産、Morgan Stanley、廣東南傳資産管理有限公司、廣州由榕股權投資管理有限公司、中加基金管理有限公司、上海匯利資産、摯信資本、瑞士盈豐資産管理、守正基金、瑞信、信達證券、華安證券研究所、花旗、Brilliance、方圓基金、C.M. Capital、首創證券、江蘇匯鴻匯升投資管理有限公司、東方財富證券股份有限公司、鑫元基金、盈峰資本、元大證券、正心谷資本、三星資産管理、裕晉投資、弘毅投資、東方證券、中科沃土基金、和坤資本、方正資管、深圳市翼虎投資管理有限公司、工銀瑞信基金管理有限公司、富利達基金管理(珠海)有限公司、重慶博永投資管理有限公司、泰旸資産、紅塔證券資管、平安人壽、榕樹投資管理有限公司、尚正基金管理有限公司、上海博道基金、北京長青基業管理技術有限公司、由榕資産、大岩資本、東方證券資産管理有限公司、翼虎投資、東興證券基金部、Schroders、深圳市前海粵鴻金融投資有限公司、西澤投資、前海聯合基金、潼骁投資、華安證券股份有限公司自營、招銀理財有限責任公司、德邦證券、北京匯信聚盈私募基金管理有限公司、光大資管、財通證券資産管理有限公司、西部證券權益投資部、Franklin Templeton、上海潼骁投資發展中心(有限合夥)、華金證券股份有限公司、北京城天九投資、相聚資本管理有限公司、天津津聯、中航證券有限公司、深圳九方資産管理有限公司、先鋒基金、光大證券(自營)、富蘭克林華美投信、鮑爾太平有限公司、展博投資、佛山市東盈投資管理有限公司、銀河證券、高瓴資本、長城財富保險、上海高毅資産管理合夥企業、砥俊資産管理中心(有限合夥)、德邦基金、中銀三星人壽、中信建投基金管理有限公司、廣發證券股份有限公司、上海敦頤資産管理有限公司、潤邦投資、華融證券資管、天安人壽保險股份有限公司、博道基金、東吳證券投資總部、江蘇瑞華投資控股集團、鵬華基金、農銀理財、重陽投資、天蟲資本、華福證券、石鋒資産、申萬研究、野村資管、北京銀盛泰資本、上海申銀萬國證券研究所有限公司、新時代證券研究所、廣州市航長投資管理有限公司、上海道邦投資咨詢有限公司、國金證券(自營)、人保資産管理有限公司、深圳前海海雅金融控股有限公司、陸家嘴國泰人壽、國都基金、康曼德資本、幸福人壽保險公司、北京遵道資産管理有限公司、廣銀理財、寧泉資産、南方天辰(北京)投資管理有限公司、萬潤科技、上海德鄰眾福投資管理有限公司、上海晨燕資産管理中心、上海工聘資産管理有限公司、中國銀河證券自營、德邦證券股份有限公司(資管)、施羅德基金、深圳昭圖投資、中華聯合保險集團股份有限公司、中華聯合保險集團、光大證券、華安證券自營、華泰保興基金、上海力元股權投資管理有限公司、Credit Suisse、豐琰投資管理(浙江自貿區)有限公司、上海銀葉投資有限公司、華興資本、北京鼎薩投資有限公司、Ariose Capital、浙商證券、遠致富海、瑞銀證券、東海證券(資管)、淡水泉(北京)投資管理有限公司、天安人壽保險、一度天使(投資)、盛世景資産管理集團股份有限公司、平安證券股份有限公司、匯豐證券、高華證券、平安證券、南方工業資産管理有限責任公司、中銀國際、獅城産業投資咨詢(上海)有限公司、匯豐前海、富達國際、潤晖投資、上海森錦投資管理有限公司、誠盛投資、聯新資本、深圳市尚誠資産管理有限責任公司、Harvest Global Investments、信泰人壽保險股份有限公司、Macquarie Group Limited、上海益菁匯資産管理有限公司、新時代證券股份有限公司於2021-08-01日調研我司，本次調研由董事長兼總經理 尹誌堯,財務負責人兼副總經理 陳偉文,副總經理 倪圖強,副總裁兼董事會秘書 劉曉宇,副總裁兼MOCVD産品部總經理 郭世平,證券事務代表 胡潇,財務部副總監 莊宇峰,董事會辦公室經理 周菡清負責接待。

本次調研主要内容：
董事長尹誌堯介紹公司2021年上半年業績情況:半導體設備是集成電路和泛半導體微觀器件産業的基石,而集成電路和泛半導體微觀器件,又是數碼時代的基礎。隨著微觀器件越做越小,半導體設備,特別是關鍵設備等離子體刻蝕設備、薄膜設備和光刻設備的極端重要性更加凸顯出來。公司主要為集成電路、LED外延片、功率器件、MEMS等半導體産品的制造企業提供刻蝕設備、MOCVD設備及其他設備。公司的等離子體刻蝕設備已應用在國際一綫客戶從65納米到14納米、7納米和5納米及其他先進的集成電路加工制造生産綫及先進封裝生産綫。公司MOCVD設備在行業領先客戶的生産綫上大規模投入量産,公司已成為世界排名前列的氮化镓基LED設備制造商。2021年上半年,公司實現營業收入13.39億元,同比增長36.82%;毛利率42.34%,較上年同期的33.92%增長約8.42個百分點;實現歸屬於上市公司股東的淨利潤為3.97億元,同比增長233.17%。今年上半年新簽訂單金額達18.89億元,同比增長超過70%,且有部分Mini-LEDMOCVD設備規模訂單已進入最後簽署階段。公司在刻蝕設備和MOCVD等設備産品研發、市場佈局、新業務拓展等諸多方面取得了較好的進展,為公司持續健康發展提供了有力支撐。公司將繼續瞄準世界科技前沿,持續踐行三維發展戰略,深耕集成電路關鍵設備領域、擴展在泛半導體關鍵設備領域應用並探索其他新興領域的機會,推進實現高速、穩定、安全發展。問答環節主要内容:
1、中微公司上半年新簽訂單達18.89億元,請問這些收入是否反應在中報收入内?答:2021年上半年新簽訂單金額達18.89億元,同比增長超過70%,且有部分Mini-LEDMOCVD設備規模訂單已進入最後簽署階段。上半年新簽訂單中有部分已經反應在中報收入中。
2、公司的刻蝕設備和MOCVD等設備産品在國際國内的技術水平和市佔率情況,在今後的發展規劃方面有何新的計劃?答:公司的等離子體刻蝕設備已應用在國際一綫客戶從65納米到14納米、7納米和5納米及其他先進的集成電路加工制造生産綫及先進封裝生産綫。公司MOCVD設備在行業領先客戶的生産綫上大規模投入量産,公司已成為世界排名前列的氮化镓基LED設備制造商。公司從三個維度擴展業務佈局:深耕集成電路關鍵設備領域、擴展在泛半導體關鍵設備領域應用並探索其他新興領域的機會。在集成電路設備領域,公司將持續強化在刻蝕設備領域的競爭優勢,並延伸到薄膜、檢測等其他關鍵設備領域;公司計劃擴展在泛半導體領域設備的應用,佈局顯示、MEMS、功率器件、太陽能領域的關鍵設備;公司擬探索其他新興領域的機會,利用好設備及工藝技術,考慮從設備制造向器件大規模生産的機會,以及探索更多集成電路及泛半導體設備生産綫相關領域的市場機會。
3、LED市場有什麼變化導致mocvd增速下降。很多led開啓定增,中微判斷未來led設備採購意願如何?答:目前MOCVD設備主要是用於氮化镓及砷化镓半導體材料外延生長,其中氮化镓基LEDMOCVD主要用於生産氮化镓基LED的外延片,以通用照明為主要市場。近年來,LED的應用迅速擴大,但是通用照明領域新增擴産較少。除通用照明外,背光顯示的藍光LED、高端顯示的Mini-LED和Micro-LED、用於殺菌消毒和空氣淨化的紫外LED、應用於電力電子的功率器件等領域對MOCVD設備的需求持續提升。Mini-LED作為一種新興技術備受關注。Mini-LED具有高亮度、精確的動態響應和高對比度等優勢,能夠顯著提升顯示品質。2020年以來,Mini-LED在電視機領域取得了良好應用,在顯示器、筆記本、平板等領域,Mini-LED産品也不斷誕生並開始批量出貨。預計未來公司MOCVD設備的銷售也將以MiniLed(背光領域)和MicroLED(直顯領域)設備為主,目前公司已有部分Mini-LEDMOCVD設備規模訂單進入最後簽署階段。
4、縱觀全球的市場來看,國産廠商的購買力仍然較弱,半導體設備的購買力仍然主要由三星、台積電、英特爾貢獻,公司如何在海外市場與國際一綫廠商競爭?今年取得了哪些成就?答:公司特別重視核心技術的創新。在開發、設計和制造刻蝕設備、MOCVD及其他高端設備的過程中,始終強調創新和差異化並保持高強度的研發投入。通過核心技術的創新,公司的産品已達到國際先進水平。在邏輯集成電路制造環節,公司開發的12英寸高端刻蝕設備已運用在國際知名客戶65納米到5納米等先進的芯片生産綫上;同時,公司根據先進集成電路廠商的需求,已開發出小於5納米刻蝕設備用於若幹關鍵步驟的加工,並已獲得行業領先客戶的批量訂單。公司目前正在配合客戶需求,開發新一代刻蝕設備和包括更先進大馬士革在内的刻蝕工藝,能夠涵蓋5納米以下更多刻蝕需求和更多不同關鍵應用的設備。在3DNAND芯片制造環節,公司的電容性等離子體刻蝕設備可應用於64層和128層的量産,同時公司根據存儲器廠商的需求正在開發新一代能夠涵蓋128層及以上關鍵刻蝕應用以及相對應的極高深寬比的刻蝕設備和工藝。此外,公司的電感性等離子刻蝕設備已經在多個邏輯芯片和存儲芯片廠商的生産綫上量産,根據客戶的技術發展需求,正在進行下一代産品的技術研發,以滿足5納米以下的邏輯芯片、1X納米的DRAM芯片和128層以上的3DNAND芯片等産品的ICP刻蝕需求,並進行高産出的ICP刻蝕設備的研發。
5、目前國産晶圓廠正處於高強度的擴産周期,但是觀察到中微公司截止到今年7月底中標的刻蝕機項目非常少,尤其是中芯國際、華虹半導體、長江存儲等大型項目均沒有見到中微公司的産品中標,請問是出於什麼原因?後續公司如何能夠把握住這次擴産風口帶來的機會?答:公司積極關注下遊市場擴産計劃並努力爭取各種可能的市場機會,公司的刻蝕設備在國内主要客戶端市場佔有率不斷提升。網上披露的中標情況可能屬於分階段或分批次披露。目前公司在手訂單飽滿,公司2021年上半年新簽訂單金額達18.89億元,同比增長超過70%,其中刻蝕設備訂單佔相當比例。
6、公司6月末的合同負債餘額較上年末餘額下降了1.6億元的原因。答:2021年6月末公司合同負債(預收賬款)餘額下降為4.33億元,較上年末餘額的5.92億元下降了1.59億元,主要是公司2021年上半年新簽訂單金額達18.89億元,同比增長超過70%,但本期新簽的刻蝕大量訂單還未發貨因此截至報告日未收到預收款,另外有部分Mini-LEDMOCVD設備規模訂單於6月末已進入最後簽署階段,因此也未收到預收款。
7、公司目前用於Mini-Led生産的MOCVD設備目前在客戶端驗證進度如何?是否已經取得批量訂單?答:公司於2021年6月17日正式發佈用於高性能Mini-LED量産的MOCVD設備PrismoUniMax,目前該設備在客戶端進度良好且已取得行業領先客戶批量訂單。公司目前有部分Mini-LEDMOCVD設備規模訂單也已進入最後簽署階段。
8、可否介紹一下公司上半年的業績情況?答:公司2021年上半年度營業收入為13.39億元,較上年同期增長36.82%,主要係:受益於半導體設備市場發展及公司産品競爭優勢,公司2021年上半年刻蝕設備收入為8.58億元,較去年同期增長約83.79%,毛利率達到44.29%。由於下遊市場原因,公司2021年上半年MOCVD設備收入為2.19億元,較去年同期下降約10.08%,但本期MOCVD設備的毛利率達到30.77%,較去年同期有大幅度提升。2021年上半年度歸屬於上市公司股東的扣除非經常性損益後的淨利潤為0.62億元,較上年同期增加約0.21億元,增長幅度為53.35%,主要係:(1)公司本期營業收入增長36.82%,同時本期毛利率為42.34%,較上年同期的33.92%增長約8.42個百分點,公司本期毛利較上年同期增加約2.35億元;(2)本期股份支付費用較上年同期增加約1.45億元;(3)由於員工人數和員工薪酬的增長,本期不含股份支付費用的銷售費用、管理費用和研發費用合計較上年同期增加約0.20億元。若剔除股份支付費用影響後,2021年上半年度歸屬於上市公司股東的扣除非經常性損益的淨利潤為2.06億元,較上年同期的0.4億元同比增長約413.4%。2021年上半年度歸屬於上市公司股東的淨利潤為3.97億元,較上年同期增加約2.78億元,增長約233.17%,主要係:(1)扣除非經常性損益後的淨利潤較上年同期增加約0.21億元;(2)本期産生公允價值變動損益1.71億元,包括公司2020年投資青島聚源芯星股權投資合夥企業(有限合夥)3億元而間接持有中芯國際集成電路制造有限公司科創板股票,因本期中芯國際集成電路制造有限公司股價變動導致公司産生公允價值變動收益約0.74億元;以及經評估師事務所評估,其他非流動金融資産(非上市公司股權投資)本期産生公允價值變動收益約0.98億元;(3)計入當期損益的政府補助(非經常性損益)較上年同期增加約1.44億元。
9、請問股份支付費用是什麼費用,和扣非利潤有什麼關係?答:股份支付費用是指公司在2020年度對公司管理層和員工授予第二類限制性股票和股票增值權,按照企業會計準則規定所計入的費用。該類費用為經常性損益。2021年上半年股份支付費用為1.45億元,若剔除股份支付費用影響後,2021年上半年度歸屬於上市公司股東的扣除非經常性損益的淨利潤為2.06億元,較上年同期的0.4億元同比增長約413.4%。
10、公司投資的睿勵儀器經營狀況如何,和公司的協同效應強嗎?答:睿勵儀器是集成電路裝備領域的領先公司,目前按其自身計劃正穩步推進生産經營及産品開發。睿勵儀器與公司的客戶和供應商都有較大程度的重疊。通過雙方的合作,可以向客戶提供配套的芯片制程解決方案,具有較強的産業協同效應。
11、公司海外主要銷售哪些産品,最近的那個淨化設備有沒有實現銷售,公司採取了哪些推廣措施?答:您好,公司致力於為全球集成電路和LED芯片制造商提供領先的加工設備和工藝技術解決方案。公司的等離子體刻蝕設備已被廣泛應用於國際一綫客戶從65納米到5納米工藝的眾多刻蝕應用,公司開發的用於LED和功率器件外延片生産的MOCVD設備已在客戶生産綫上投入量産,目前已在全球氮化镓基LEDMOCVD設備市場佔據領先地位。子公司中微惠創利用分子篩的吸附原理的化學反應器,開發制造了工業用大型VOC淨化設備並已實現銷售。今年上半年,中微惠創與德國DAS環境專家有限公司簽訂戰略合作協議,雙方將在半導體行業尾氣處理設備領域展開緊密的合作,共同推動環保科技行業的發展。
12、公司的人才培養計劃是怎麼樣的?答:公司目前大約1/4是外籍員工。我們的目標是建立以中國為基地,面向世界的公司。主要的成員都是中國人,包括後來培養起來的年輕專家、産品、工程、管理人員大部分都是中國人。中微為不斷培養出新生代力量做了大量工作,形勢很好。
13、ICPCCP的技術規劃?答:從刻蝕設備細分種類的市場規模來看,十年前CCP設備的市場佔比約為60%,ICP的市場佔比約為40%。根據當今的市場調研結果,ICP設備的市場佔比已經超過CCP設備,佔比約為60%。ICP設備用在前道工序較多,CCP設備用在後道工序較多。由於中微公司率先開發並推向市場的是CCP設備,所以設備用在後道工序比較多。後來公司成功研發並推出了ICP設備,很多前道工序也都能做了,並且效果不錯,公司希望逐步全面覆蓋芯片刻蝕工序。
14、展望200多層的3DNAND、以及邏輯器件新工藝對刻蝕技術及設備的影響?答:刻蝕設備是工藝過程非常難的設備,每一種微觀器件的設計都不一樣,經粗略統計目前市場上7種典型器件大概有超過460個刻蝕步驟,每個步驟都需要開發不同的刻蝕設備。1)微觀器件越做越小,光刻機由於波長的限制,10nm以下的芯片加工需要薄膜設備和刻蝕設備組合完成加工。14nm芯片需要大約500-600個加工步驟,5nm芯片加工步驟提高到1000次以上,其中刻蝕的加工步驟增加三倍到150-160次。相關工藝技術面臨的挑戰大,同時市場機會也非常多。2)芯片層數越來越多、從2D結構到3D結構。其中刻蝕工藝最卡脖子的還是深孔深溝的刻蝕。市場上目前普遍使用的高深寬比刻蝕設備高深寬比大概是40:1到50:1,中微目前在實驗室已經可以做出深寬比超過60:1的極高深寬比CCP介質刻蝕機,但設備的穩定重復使用還需要進一步努力提升。

中微公司主營業務：研發、組裝集成電路設備、泛半導體設備和其他微觀加工設備及環保設備,包括配套設備和零配件,銷售自産産品。提供技術咨詢、技術服務。[不涉及國營貿易管理商品,涉及配額、許可證管理商品的,按照國家有關規定辦理申請;依法須經批準的項目,經相關部門批準後方可開展經營活動。]

中微公司2021中報顯示，公司主營收入13.39億元，同比上升36.82%；歸母淨利潤3.97億元，同比上升233.17%；扣非淨利潤6161.52萬元，同比上升53.35%；負債率9.89%，投資收益-1185.57萬元，財務費用-688.49萬元，毛利率42.34%。